Silane, trimethyl-(CAS: 993-07-7)

三甲基硅烷のCAS番号は993-07-7です。この化合物は無色の液体です。分子量は45.08で、沸点は57.6℃です。水溶性は低いものであり、アルコールやエタンールに溶けやすいです。反応活性は高く、過酸化物や酸、アルコールと反応します。

三甲基硅烷は、シラン（SiH4）とメチルグリジオールを反応させて合成されます。この反応は触媒を使用せずに直接行われます。収率は約90％で、選択性も高いです。

三甲基硅烷は医薬品、ポリマー、センサー、半導体等の産業で広く使用されています。特に、半導体産業では、微細加工のためのレジスタ素材や半導体膜形成の前駆体として重要です。

三甲基硅烷は易燃性があり、火災が発生した場合はCO2や干渉性泡沫消火器を使用します。PPEは防静電気手袋と防静電気マスクを着用し、ドラフトチャンバーを使用して操作します。漏れが発生した場合は、適切な個人防護具を着用し、環境に有害な影響を与える前に漏れの処理を行います。SDSを参照してください。