Electron beam lithographically-defined scanning electrochemical-atomic force microscopy probes: fabrication method and application to high resolution imaging on heterogeneously active surfaces

文献情報

出版日 2006-05-31
DOI 10.1039/B605828K
インパクトファクター 3.676
著者

Phillip S. Dobson, John M. R. Weaver, David P. Burt, Mark N. Holder, Neil R. Wilson, Patrick R. Unwin, Julie V. Macpherson


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要旨

This paper describes in detail the use of electron beam lithography (EBL) to successfully batch microfabricate combined scanning electrochemical-atomic force microscopy (SECM-AFM) probes. At present, the process produces sixty probes at a time, on a 1/4 of a three-inch wafer. Using EBL, gold triangular-shaped electrodes can be defined at the tip apex, with plasma enhanced chemical vapor deposited silicon nitride serving as an effective insulating layer, at a thickness of 75 nm. The key features of the fabrication technique and the critical steps are discussed. The capability of these probes for SECM-AFM imaging in both tapping and constant distance mode is illustrated with dual topographical–electrochemical scans over an array of closely-spaced 1 μm diameter Pt disc electrodes, held at a suitable potential to generate an electroactive species at a transport-limited rate. As highlighted herein, understanding diffusion to heterogeneous electrode surfaces, including array electrodes, is currently topical and we present preliminary data highlighting the use of SECM-AFM as a valuable tool for the investigation of diffusion and reactivity at high spatial resolution.

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掲載誌

Physical Chemistry Chemical Physics

Physical Chemistry Chemical Physics
CiteScore: 5.5
自己引用率: 10.3%
年間論文数: 3036

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