化合物よくある質問

三氟丙基甲基環三硅氧烷はどの業界で使用されていますか?

回答

2,4,6-Trimethyl-2,4,6-tris(3,3,3-trifluoropropyl)-1,3,5,2,4,6-trioxatrisilinane
三氟丙基甲基環三硅氧烷は医薬品、ポリマー、センサー、半導体などの業界で使用されています。特に、半導体製造過程でエッチング剤として重要な役割を果たしています。

について

CAS番号 2374-14-3
英語名前 2,4,6-Trimethyl-2,4,6-tris(3,3,3-trifluoropropyl)-1,3,5,2,4,6-trioxatrisilinane
分子式 C12H21F9O3Si3
分子量 468.54 g/mol
SMILES FC(CC[Si]1(C)O[Si](C)(CCC(F)(F)F)O[Si](O1)(C)CCC(F)(F)F)(F)F
InChIKey URZHQOCYXDNFGN-UHFFFAOYSA-N
最後の更新: 2025-09-07 10:19

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