IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
基本情報
略称:
IEEE T SEMICONDUCT M
インパクトファクター:
2.3
ISSN:
0894-6507
研究分野:
ENGINEERING TECHNOLOGY
h-index:
59
自己引用率:
13%
年間論文数:
74
SCI収録状況:
Science Citation Index Expanded
ジャーナルウェブサイト:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/RecentIssue.jsp?punumber=66
ジャーナル紹介:
The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes.
CiteScore
CiteScore
5.2
SJR
0.967
SNIP
1.237
| 分野 | ランク | パーセンタイル |
|---|---|---|
EngineeringIndustrial and Manufacturing Engineering |
114 / 384 | 70% |
ジャーナル統計
Quarterly
号/年
査読期間
論文処理料
投稿情報
投稿サイト:
http://mc.manuscriptcentral.com/tsm-ieee関連論文
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2015-07-13
Paper
DOI: 10.1039/C5CP03659C
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2015-07-13
Paper
DOI: 10.1039/C5CP01812A
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M. M. Brister, M. Pollum, C. E. Crespo-Hernández
2016-02-17
Communication
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2015-07-20
Paper
DOI: 10.1039/C5CP03174E
Correction: Kinetics and mechanism of the reaction of perfluoro propyl vinyl ether (PPVE, C3F7OCHCH2) with OH: assessment of its fate in the atmosphere
D. Amedro, L. Vereecken, J. N. Crowley
2015-07-24
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Chao Zhang, Jingyang Wang, Xiaohui Wang
2016-05-16
Communication
DOI: 10.1039/C6CP01699E
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Ming Wang, Liping Wang, Chao Shi, Tian Sun, Yingchun Zhu
2016-07-11
Paper
DOI: 10.1039/C6CP03230C
From underwear to non-equilibrium thermodynamics: physical chemistry informs the origin of life
Mattanjah S. de Vries
2016-07-08
Editorial
DOI: 10.1039/C6CP90169G
Triple decker sandwiches and related compounds of the first row transition metals with cyclopentadienyl and hexafluorobenzene rings: remarkable effects of fluorine substitution
Shida Gong, Qiong Luo, Xiangfei Feng, Qian-shu Li, Yaoming Xie, Henry F. Schaefer III
2015-06-08
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CAS番号:
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分子式:
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